一种25 Gbps硅基MZ电光调制器驱动电极的设计

作     者：纪鹏飞 何卫锋 JI Peng-fei;HE Wei-feng

作者机构：上海交通大学微纳电子学系上海200240 

基　　金：国家重点研究与发展计划(2016YFB0200205) 

出 版 物：《微电子学与计算机》 (Microelectronics & Computer)

年 卷 期：2018年第35卷第8期

页      码：6-10页

摘      要：为了满足高带宽、高密度的数据互联需求,本文基于IMEC的硅光子SOI工艺提出了一种紧凑型行波驱动电极的马赫-曾德(MZ)调制器结构.本文详细分析了设计高速行波电极需解决的问题,包括考虑阻抗匹配、微波损耗以及电光信号的速度匹配问题.设计实现了单通道MZ调制器电光调制3dB带宽17GHz,可支持25Gbps的传输速率.同时为了应用于多通道高密度的电光集成互联中,优化了电极结构,使得MZ调制器面积节省25%.

主 题 词：硅基光互联 电光调制器 高速行波电极 

学科分类：080904[080904] 0810[工学-土木类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 081001[081001] 

D　O　I：10.19304/j.cnki.issn1000-7180.2018.08.002

馆 藏 号：203316566...