内外环电容传感器灵敏度仿真

作     者：叶佳敏 张涛 周力普 YE Jia-min;ZHANG Tao;ZHOU Li-pu

作者机构：天津大学电气与自动化工程学院天津市过程检测与控制重点实验室天津300072 北京大学软件与微电子学院北京102600 

基　　金：国家863计划资助项目(2007AA04Z180) 

出 版 物：《天津大学学报》 (Journal of Tianjin University(Science and Technology))

年 卷 期：2008年第41卷第11期

页      码：1309-1313页

摘      要：为设计应用于两相流相关流速测量的电容传感器,得到传感器的几何参数对其灵敏度特性的影响,利用数值方法对内外环电容传感器的灵敏度特性进行分析.利用有限元分析软件建立传感器电场的仿真模型并进行了基本仿真,采用正交实验设计方法安排仿真实验.分析结果表明,屏蔽罩长度和内管壁厚度是影响传感器相对灵敏度的主要因素,而屏蔽罩与外极板间距对检测场均匀性误差影响比较大.优选出一组传感器的结构参数,内管壁厚度3 mm,外管壁厚度2 mm,屏蔽罩与外极板间距3 mm,对管壁相对介电常数的要求则是越接近于1越好.利用优选的结构参数进行仿真,可以得到比较好的传感器灵敏度特性,为内外环电容传感器的设计提供了理论依据.

主 题 词：内外环电容传感器 传感器设计 灵敏度分析 数值仿真 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0493-2137.2008.11.008

馆 藏 号：203317397...