采用SPCE061A控制的白光干涉微纳扫描系统设计

作     者：魏永强 邹文栋 赵立忠 纪海燕 WEI Yong-qiang;ZOU Wen-dong;ZHAO Li-zhong;JI Hai-yan

作者机构：南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室江西南昌330063 

基　　金：航空科学基金(20085656018) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2009年第30卷第3期

页      码：391-396页

摘      要：针对小推力压电陶瓷迟滞特性,提出一种用SPCE 061A单片机控制的新型白光干涉微纳扫描系统的设计。该扫描系统采用低压误差放大器OP07和高压功率放大器PA 78双级放大器件为核心元件,使系统的整体带宽与放大倍数可调节,并对扫描系统中压电陶瓷微位移器的迟滞曲线采用最小二乘曲线拟合法进行数学建模。实验结果表明：输出电压在（0-200）V连续可调,纹波电压的最大值为1.06 mV;应用于微纳扫描控制,能获得20μm扫描范围,控制精度达10 nm,线性度为0.9,阶越响应时间1.5μs,可实现对微纳扫描系统精确、快速开环控制。

主 题 词：压电陶瓷 白光干涉 迟滞特性 驱动电源 SPCE061A 数学建模 

学科分类：080902[080902] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-2082.2009.03.007

馆 藏 号：203317728...