MOEMS低频声传感器的设计与实验研究

作     者：蒋冰莉 杨坤涛 王江安 宗思光 JIANG Bing-li;YANG Kun-tao;WANG Jiang-an;ZONG Si-guang

作者机构：武汉光电国家实验室(筹)华中科技大学光电子科学与工程学院湖北武汉430074 海军工程大学电子工程学院光电研究所湖北武汉430033 

基　　金：国家高技术研究发展计划("863"计划)项目(No.2009AAJ139)资助 

出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)

年 卷 期：2010年第40卷第10期

页      码：1096-1100页

摘      要：MOEMS声传感器是MEMS技术、微光学技术、声传感技术相结合发展的新一代声音传感技术,具有灵敏度高、抗电磁场和射频干扰等优点。针对水下潜艇对空声预警涉及的高灵敏度、低频响应好、微型化声传感器整列,研究了反射光强度调制型MOEMS低频声传感阵元。对MOEMS低频声传感器膜片的振动特性进行了有限元分析,得出振动膜片的几何参数,并对反射光强特性进行了仿真和实验。采用设计的MEMS膜片、850 nm波长的LED光源设计并制作了MOEMS低频声传感器样机,通过实验表明,该传感器低频响应好,灵敏度可达200 mV/Pa,达到了设计要求。

主 题 词：光纤声传感器 MOEMS 有限元分析 低频 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5078.2010.10.015

馆 藏 号：203318278...