集成铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器的制作

作     者：褚金奎 陈兆鹏 张然 CHU Jin-kui;CHEN Zhao-peng;ZHANG Ran

作者机构：大连理工大学机械工程学院辽宁大连116024 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.51175056) 国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB302101) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第19卷第12期

页      码：2935-2940页

摘      要：由于SU-8胶的弹性模量比硅的低,在SU-8胶悬臂梁上集成金属压阻可获得很高的力灵敏度系数,因此本文基于SU-8胶设计并制作了一种集成蛇形结构铜金属压阻层的SU-8胶悬臂梁微力传感器。介绍了制作微力传感器的新型工艺,并进行了传感器性能测试。实验结果表明:设计的SU-8胶微力传感器在0～350μN具有较好的线性度,力灵敏度为0.24mV/μN,测量误差为4.06%。该微力传感器可以满足对微小力的测量,相对于硅材料的微力传感器,其制作工艺更加简单,周期更短。由于SU-8胶的生物兼容性好,该传感器在生物医学研究领域有着很好的应用前景。

主 题 词：SU-8胶 金属压阻 微力传感器 悬臂梁 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20111912.2935

馆 藏 号：203318938...