多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性

作     者：李慧 闫连山 潘炜 罗斌 温坤华 郭振 

作者机构：西南交通大学信息科学与技术学院信息光子与通信研究中心四川成都610031 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室四川成都610029 

基　　金：国家973计划(2011CB301800) 新世纪优秀人才支持计划(NCET-08-0821) 微细加工光学技术国家重点实验室基金资助课题 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2012年第49卷第1期

页      码：152-155页

摘      要：结合等离子金属光栅原理和多层膜理论,提出一种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分(FDTD)法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明,通过控制金属-介质层层数或者凹槽数目,焦距明显改善,焦距可达9.15μm,最大焦深约为26.38μm,相对于传统金属光栅,聚焦效应得到了明显增强。

主 题 词：薄膜 表面等离子 亚波长结构 多层膜设计 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3788/lop49.013102

馆 藏 号：203318948...