制备多模聚硅氧烷光波导关键技术的改进

作     者：温昌礼 季家镕 窦文华 冯向华 徐蓉 门涛 刘长海 

作者机构：宇航动力学国家重点实验室西安710043 国防科学技术大学光电科学与工程学院长沙410073 

基　　金：国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA01Z2a5)资助的课题~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2012年第61卷第9期

页      码：207-212页

摘      要：本文利用浇铸法,使用M&N胶和OE6450两种聚硅氧烷制备光波导.通过改进制备光波导的多个关键技术,解决了波导制备过程中的气泡问题、脱模问题、芯层不固化问题、芯层和覆盖层产生化学反应等难题,提出了比较完备和科学的聚硅氧烷波导制备工艺流程,从而使得波导的制备成品率从原来低于40%提高到高于80%,波导的最大长度从原来的21 cm增加到22.5 cm,波导的损耗(截断法测量结果)从最初的0.3dB/cm(850 nm)降低到了0.21dB/cm(850nm).本文在波导制备技术方面具有重要的实际意义和价值.

主 题 词：光学设计 多模脊形波导 聚硅氧烷 浇铸法 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0805[工学-能源动力学] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.61.094202

馆 藏 号：203319108...