基于共面波导微带线的光探测器高频电参量提取(英文)

作     者：徐光辉 柴广跃 黄长统 何黎明 徐健 廖世东 冯丹华 XU Guang-hui;CHAI Guang-yue;HUANG Chang-tong;HE Li-ming;XU Jian;LIAO Shi-dong;FENG Dan-hua

作者机构：深圳大学光电子器件与系统教育部重点实验室广东深圳518060 昂纳光通信(集团)有限公司广东深圳518057 

基　　金：The Ministry of Science and Technology of China(No.2008DFA11010) the National Foundation of Natural Science and Technology(No.61076043) 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2013年第42卷第2期

页      码：132-134页

摘      要：针对不能在片测量的光探测器芯片,本文提出了一个简单而有效的实验方案来提取其等效电路模型的高频电参量.首先设计了和微波探针匹配的共面波导微带线,测量其输出反射系数,测试结果与理论设计符合很好;然后将芯片装载到微带线上,测量包含光探测器的整个测试结构的输出反射系数.仿真中涉及光探测器测试结构的等效电路模型,包含光探测器、键合金丝和共面波导微带线等因素.通过拟合已测的整个测试结构的输出反射系数,提取了光探测器的高频电参量.

主 题 词：光探测器 共面波导微带线 等效电路模型 参量提取 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20134202.0132

馆 藏 号：203319455...