基于非球面检测的磁力微动间隙控制技术研究

作     者：郭海洋 郭忠达 焦璐璐 Guo Haiyang;Guo Zhongda;Jiao Lulu

作者机构：西安工业大学光电工程学院西安710021 

出 版 物：《国外电子测量技术》 (Foreign Electronic Measurement Technology)

年 卷 期：2014年第33卷第1期

页      码：62-64页

摘      要：在非球面检测中,为了能很好的控制参考波面的变化,需要对参考镜的位置进行微移动,针对此问题,研究了一种磁动式微动间隙调节结构,该结构以3个通电电磁线圈为驱动力,直线导轨为运动平台,通过电磁力驱动使参考镜的位置进行微小的变化,结构简单、方便,可以实现波面的位置控制,通过实验验证了该结构设计的正确性和可行性。

主 题 词：电磁驱动 微位移 检测 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-8978.2014.01.022

馆 藏 号：203319819...