宽通带宽截止带通滤光片研究

作     者：朱华新 王彤彤 高劲松 刘桂林 李帅 ZHU Hua-xin;WANG Tong-tong;GAO Jin-song;LIU Gui-lin;LI Shuai

作者机构：江南大学理学院无锡214122 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室长备130033 江南大学物联网工程学院无锡214122 

基　　金：中央高校基本科研业务费专项资金资助(JUSRP211A19) 江南大学博士基金资助(JUDCF13039) 江苏省创新项目(CXZZ13_0742) 

出 版 物：《人工晶体学报》 (Journal of Synthetic Crystals)

年 卷 期：2014年第43卷第5期

页      码：1296-1301页

摘      要：本文以K9为基底设计了一种宽通带宽截止带通滤光片，即：540～750nnl为通带区域，400—520nm、770—1100nm为截止带区域，为实现这一特性，在K9基底的两侧分别设置长波通和短波通组合膜系，分别用于截止400—520nm和770～1100nm，而两者通带交集为540～750nm，膜层总数为48层，膜层总厚度达5．03μm，工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法，薄膜材料仪含有TiO2和SiO2，并分别作为高低折射率材料。利用分光光度计对镀有该组合膜的样品透过率进行测量，测试结果表明540～750nm通带平均透过率达到了85．82％，通带相对半宽度达221nm，400～520nm和770～1100nm的截止度分别达到1．36％和1．27％，实验结果与理论设计基本吻合，达到了宽通带宽截止的目标，环境测试表明：薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该组合膜系可以应用于可靠性要求较高的环境中。

主 题 词：光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-985X.2014.05.047

馆 藏 号：203319977...