用于Si基RCE光电探测器SOR衬底的研制

作     者：李成 杨沁清 等 

作者机构：中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室，北京100083 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2000年第29卷第Z1期

页      码：365-368页

摘      要：随着波分复用技术的发展，共振腔增强（RCE）探测器由于具有波长选择特性和高和量子效率得到重视和发展。本文报道了采用智能剥离和溶胶－凝胶方法研制出一种可用于Si基RCE光电探测器SOR衬底。得到表面是单晶Si膜且具有高反向率的Si基片。设计和模拟了基于该衬底的SiGeRCE光电探测器，结果表明该结构可以大幅度提高Si基探测器的量子效率。

主 题 词：共振腔光电探测器 计算机模拟 溶胶-凝胶方法 硅基 SOR衬底 锗化硅 量子效率 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203320045...