一种便携式光学表面轮廓仪

作     者：张瑜 陈宇琪 陈磊 ZHANG Yu;CHEN Yuqi;CHEN Lei

作者机构：南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京210094 金智视讯技术有限公司江苏南京211100 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(U1231111) 

出 版 物：《光学仪器》 (Optical Instruments)

年 卷 期：2016年第38卷第2期

页      码：178-184页

摘      要：研究了一种基于短相干光相移干涉法的便携式光学表面轮廓仪,分析了短相干光干涉显微镜相移干涉技术,实现了基于该项技术的光干涉显微系统。采用光路集成化的设计方法,实现了一体化轮廓仪光路集成,优化了机械三维调整测量台,实现了可用于大、小口径元件表面测量的正置、倒置两种测量模式。测试结果表明,仪器的粗糙度测量精度为0.1nm,重复性误差优于0.01nm,横向分辨率优于1μm。

主 题 词：短相干光相移干涉 表面轮廓 干涉显微镜 粗糙度 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-5630.2016.02.016

馆 藏 号：203320855...