激光调阻机F-Theta扫描镜头光学设计

作     者：史浩东 何景宜 郭力滔 周子楠 SHI Haodong;HE Jingyi;GUO Litao;ZHOU Zinan

作者机构：长春理工大学光电工程学院长春130022 长春理工大学空间光电技术研究所长春130022 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2013年第40卷第11期

页      码：51-55页

摘      要：激光调阻机用于对片式电阻阻值进行微调,其调阻精度主要取决于扫描镜头的光学聚焦性能。根据实际使用需求,本文设计了两组不同工作波长(1 064 nm和532 nm)的F-Theta扫描镜头,视场角分别为±28°和±25°;聚焦光斑直径分别为30μm和10μm。最终设计结果表明:两组镜头像散值在像差容限范围内,满足平像场要求;F-Theta相对畸变均小于0.1%;光能利用率达到90%以上;聚焦性能接近衍射极限。两组镜头结构简单紧凑,方便互换与装卡,能够满足激光调阻要求。

主 题 词：激光调阻 F-Theta镜头 畸变 衍射极限 光学设计 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501x.2013.11.009

馆 藏 号：203325070...