温度测量范围加倍的单微环传感器

作     者：李欣 王禄娜 郭士亮 李志全 杨明 Li Xin;Wang Lu-Na;Guo Shi-Liang;Li Zhi-Quan;Yang Ming

作者机构：哈尔滨工业大学控制与仿真中心哈尔滨150080 燕山大学电气工程学院秦皇岛066004 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:61172044) 河北省自然科学基金(批准号:F2012203204)资助的课题~~ 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2014年第63卷第15期

页      码：189-194页

摘      要：本文提出了一种基于U形波导耦合单微环结构的新型SOI(绝缘体上硅)温度传感器.温度变化引起感温部位有效折射率和长度变化,导致传感器的输出光谱发生漂移.根据传输矩阵法和耦合模理论,设计了新型传感器模型,并且分析了感温部位不同时系统输出光谱特性.结果表明:当U形波导耦合单微环整体结构感温时,输出光谱无伪模,消光比达到31 dB,可作为最佳感温元件.相比于传统的双直波导耦合单微环结构,当U形波导的两个耦合点间的距离为微环周长的整数倍数时,FSR(自由光谱范围)可加倍至56 nm,灵敏度提高到89.2 pm/?C,测量范围为298—720 K,实现了SOI微环谐振器的高温测量.

主 题 词：微环谐振器 温度传感器 测量范围 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0704[理学-天文学类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.63.154209

馆 藏 号：203326721...