基于ARM9的中阶梯光栅刻划机高精度温度控制系统

作     者：王英 蔡锦达 秦绪祥 王亮 WANG Ying;CAI Jin-da;QIN Xu-xiang;WANG Liang

作者机构：上海理工大学机械工程学院上海200093 

基　　金：科技部重大仪器专项项目(2011YQ150040) 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2012年第12期

页      码：47-51页

摘      要：在中阶梯光栅刻划中,环境温度的稳定性对光栅精度的提高是非常重要的。采用ARM9内核芯片S3C2440A为控制器,设计了一种嵌入式高精度温度控制系统,可实现现场显示、实时控制等功能。传感器使用了三线制铂电阻温度传感器Pt1000测量温度值。加热或制冷器件采用半导体制冷片。阐述了系统的构成原理和实现流程,重点介绍了系统的硬件结构。系统的特点是通过PWM控制半导体制冷片,使其既能制冷也能制热。结合PID神经元网络算法,实验表明系统的硬件电路简单、控制精度好、可靠性高,且易于改进。

主 题 词：温度控制 ARM9 Pt1000 半导体制冷 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2012.12.017

馆 藏 号：203327072...