多晶Si酸制绒刻蚀稳定性的研究

作     者：冯宇俊 梁玉玉 焦朋府 张超 贾彦科 王森涛 Yujun Feng;Yuyu Liang;Pengfu Jiao;Chao Zhang;Yanke Jia;Sentao Wang

作者机构：山西潞安太阳能科技有限责任公司长治 

出 版 物：《光电子》 (Optoelectronics)

年 卷 期：2014年第4卷第1期

页      码：1-5页

摘      要：多晶Si酸制绒刻蚀稳定性对制绒工艺有重要的影响。本文主要研究酸刻蚀量在横向和纵向的不同,结合槽体内部分析液体流向分布对刻蚀稳定性的影响,强调设备结构设计对工艺稳定性影响的重要性。

主 题 词：多晶硅 酸制绒 刻蚀稳定性 

学科分类：0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 

D　O　I：10.12677/OE.2014.41001

馆 藏 号：203330348...