In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb)MOVPE工艺设计

作     者：李静波 张维敬 李长荣 杜振民 Li Jingbo;Zhang Weijing;Li Changrong;Du Zhenmin

作者机构：北京科技大学材料科学与工程系 

出 版 物：《稀有金属》 (Chinese Journal of Rare Metals)

年 卷 期：1998年第22卷第3期

页      码：216-218页

摘      要：本文模拟ＭＯＶＰＥ工艺设定热力学条件，建立了涉及５个相和５４个气相物种的ＩｎＡｓＳｂＣＨ五元系热力学系统。采用先进的热力学计算方法，对该系统进行了热力学分析。计算结果与实验结果比较发现，热力学计算能较好地预测系统相关系及半导体相成分。

主 题 词：热力学分析 MOVPE 铟 锑 砷 

学科分类：08[工学] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0258-7076.1998.03.014

馆 藏 号：203332790...