高速激光点阵光刻机的设计

作     者：殷庆纵 刘吉 Yin Qingzong;Liu Ji

作者机构：苏州工业职业技术学院电子工程系江苏苏州215104 苏州印象镭射有限公司江苏苏州215004 

出 版 物：《电子技术应用》 (Application of Electronic Technique)

年 卷 期：2012年第38卷第5期

页      码：26-29页

摘      要：为了制作大尺寸激光防伪商标,开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工控机为上位机,ARM LPC2138和单片机STC12C5401AD为下位机,采用直线电机直接驱动X-Y工作台,实现了高速高精度定位。

主 题 词：激光直写 直线电动机 光刻 光栅 ARM LPC2138 单片机 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.16157/j.issn.0258-7998.2012.05.029

馆 藏 号：203334406...