单片三轴大量程加速度传感器性能测试与分析

作     者：石云波 赵锐 唐军 刘俊 李科杰 SHI Yunbo;ZHAO Rui;TANG Jun;LIU Jun;LI Kejie

作者机构：北京理工大学机电工程学院北京100081 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室太原030051 

基　　金：国防科工委国防基础科研项目基金项目(A3320110004) 重点实验室基金项目(9140C1204021008,9140C120402110C1201) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2012年第25卷第9期

页      码：1236-1241页

摘      要：对设计的单片三轴MEMS大量程加速度传感器进行了马歇特锤冲击测试和Hopkinson杆冲击校准试验,得到了三轴加速度传感器冲击过载信号及其各轴向的横向灵敏度比、线性度等关键参数。测试结果表明该三轴传感器在受到117 395.95 gn以上的冲击信号作用时,传感器各轴仍然能够正常工作;其三轴轴向灵敏度均能达到0.1μV/gn以上,各敏感轴受到轴向加速度时其线性度小于6%,轴间横向灵敏度比小于10%。

主 题 词：加速度传感器 三轴 大量程 MEMS 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2012.09.012

馆 藏 号：203334673...