国内首台化学束外延(CBE)系统的设计考虑及外延结果

作     者：孙殿照 孔梅影 韩汝水 朱世荣 阎春辉 国红熙 付首清 周增圻 张晓秋 黄运衡 谢琪 刘世闯 雷震林 张利强 余文斌 乔金梁 

作者机构：中国科学院半导体所 中国科学院半导体所中国科学院半导体材料科学开放实验室 中国科学院沈阳科仪厂沈阳110003 

出 版 物：《半导体情报》 (Semiconductor Information)

年 卷 期：1991年第28卷第6期

页      码：79-80页

摘      要：研制了国内首台化学束外延(CBE)系统。半导体所用此系统进行了CBE实验,获得质量良好的半导体材料。本文给出该系统的设计考虑及CBE实验结果。

主 题 词：化学束外延 设备 半导材料 设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.1991.06.035

馆 藏 号：203334717...