一种聚合物平板微器件的制造方法

作     者：徐征 王林刚 栾庆蕾 宋满仓 XU Zheng;WANG Lin-gang;LUAN Qing-lei;SONG Man-cang

作者机构：大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室辽宁大连116085 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室辽宁大连116085 

基　　金：国家863项目"微纳米高通量标准化工艺技术与装备"(2012AA040406) 中央高校基本科研业务费(DUT14LAB07) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2015年第4期

页      码：129-132页

摘      要：以一种平板微器件-微流控芯片制造为研究对象,针对单一的注塑成型工艺难以保证器件的宏微形位误差的难题,提出了一种新颖的聚合物平板微器件集成制造方法。首先,设计并制造了一套注塑模具,其中采用双螺纹结构将微镶件和定模架相连,对注塑工艺参数进行优化,制得填充率接近1的平板微制件。然后,对平板微制件进行了基于视觉对准的铣削整形和热压整平,有效改善了制件的宏微形位误差和平面度误差。最后,利用加工的器件进行装配,形成微流控芯片,并对芯片进行了流量测试和疲劳测试。实验结果表明:采用提出方法制造的微流控芯片,各项精度指标和性能可以满足实际使用要求,工艺成果对同类器件的研发和生产提供了借鉴和指导。

主 题 词：注塑成型 平板微制件 聚合物微器件 微流控芯片 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2015.04.036

馆 藏 号：203341060...