室温微测辐射热计线性阵列的设计与制作

作     者：董良 岳瑞峰 刘理天 

作者机构：清华大学微电子学研究所北京100084 

基　　金：国家自然科学基金(No.59995550-1) 清华大学985基金资助项目 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2002年第23卷第Z2期

页      码：593-594页

摘      要：对微测辐射热计的微桥结构进行了优化设计。采用多晶锗硅Poly—Si0.7Ge0.3薄膜电阻作为微测辐射热计的探测敏感元件,结合微机械加工技术制作了8×1微测辐射热计线性阵列,制作工艺温度小于650℃,微桥桥面面积为10Oμm×100μm,由两臂支撑,支撑臂的长L和宽W分别为220μm和8μm。

主 题 词：多晶锗硅 微测辐射热计 微 桥 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0254-3087.2002.z2.060

馆 藏 号：203346243...