基于光流技术的MEMS器件平面微运动测量

作     者：金翠云 靳世久 王建林 Jin Cuiyun;Jin Shijiu;Wang Jianlin

作者机构：北京化工大学信息科学与技术学院北京100029 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 

出 版 物：《电子测量与仪器学报》 (Journal of Electronic Measurement and Instrumentation)

年 卷 期：2007年第21卷第1期

页      码：90-95页

摘      要：为测量MEMS谐振器周期运动过程中各时刻不同相位的运动特性及其动态参数,提出利用光学测量方法,设计基于机器微视觉的MEMS动态分析仪。其实现机理是基于频闪成像原理获得MEMS谐振器一个周期内所需相位的清晰运动图像,结合光流技术对MEMS谐振器的运动序列图像做二维运动估计,从而得到其动态特性参数,为MEMS器件的设计提供重要参考。具有非接触性、测量精度高的特点。实验结果表明,该系统的测量重复性达7.1nm,能够很好地描述微谐振器的动态特性。

主 题 词：MEMS 动态分析仪 MEMS谐振器 动态特性 频闪成像 光流 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081002[081002] 

D　O　I：10.13382/j.jemi.2007.01.024

馆 藏 号：203347626...