柔性电热镍微夹钳结构设计及加工测试研究

作     者：褚金奎 郝秀春 关乐 王立鼎 CHU Jin-kui;HAO Xiu-chun;GUAN Le;WANG Li-ding

作者机构：大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50135040 50475153) 

出 版 物：《大连理工大学学报》 (Journal of Dalian University of Technology)

年 卷 期：2007年第47卷第3期

页      码：363-367页

摘      要：把柔性机构的设计方法——伪刚体法应用于柔性微夹钳的设计中，得到一种新结构形式的电热微夹钳，用UV—LIGA方法进行加工制作，并进行动态性能测试．从对称的平面十杆刚性机构得到其伪刚体模型，对伪刚体模型进行优化并柔性化得到放大20倍的柔性微夹钳钳体，通过仿真验证了设计的正确性和可靠性．V形电热驱动器与柔性钳体集成到一起，形成柔性电热微夹钳．用SU-8胶做电铸铸模，钛和二氧化硅做牺牲层，铜做种子层，在氨基磺酸镍电铸液中进行电铸，加工出最小特征尺寸10μm，厚度30μm的电热镍微夹钳．最后对制作的微夹钳在0～1．5V直流电压下进行动态测试，夹持端位移最大可达24μm．

主 题 词：柔性机构 伪刚体法 微夹钳 UV—LIGA 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-8608.2007.03.011

馆 藏 号：203347700...