微小差分电容检测电路设计

作     者：周丽丽 孔德义 江儒龙 郭家玉 ZHOU Li-li;KONG De-yi;JIANG Ru-long;GUO Jia-yu

作者机构：中国科学院合肥智能机械研究所安徽合肥230032 中国科学技术大学自动化系安徽合肥230026 

基　　金：国家自然基金资助项目(60574093 50534050) 863计划资助项目(2007AA04Z341) 

出 版 物：《仪表技术》 (Instrumentation Technology)

年 卷 期：2008年第10期

页      码：62-64页

摘      要：介绍一种MEMS电容式微加速度计的结构和等效电路,然后介绍了开关电容放大器的工作原理,最后用可消除寄生电容的等效跨阻取代普通开关电容运放中的并联模拟电阻。设计了一种对寄生电容不敏感的电容-电压转换电路,该电路可用于检测电容传感器的微小差分电容。

主 题 词：开关电容技术 微小差分电容检测 MEMS电容式微加速度计 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-2394.2008.10.024

馆 藏 号：203348117...