一种高温绝压传感器弹性膜片技术研究

作     者：侯占民 王金文 杨金梅 崔宏敏 HOU Zhan-min;WANG Jin-wen;YANG Jin-mei;CUI Hong-min

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所哈尔滨150001 

出 版 物：《黑龙江大学自然科学学报》 (Journal of Natural Science of Heilongjiang University)

年 卷 期：2009年第26卷第6期

页      码：822-824,829页

摘      要：介绍了该高温绝压传感器的原理和特点,设计了传感器关键元件弹性膜片结构,制定了一套弹性膜片的制作工艺,使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来,弹性膜片金相组织和力学性能达到理想状态,解决了该传感器精度的关键技术,研制出一体化传感器在(-50～220)℃工作温度范围精度达到0.6%F.S。

主 题 词：高温 绝压传感器 弹性膜片 

学科分类：081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-7011.2009.06.026

馆 藏 号：203348702...