某硅晶片生产厂房净化空调设计

作     者：姚洪娥 Yao Honge

作者机构：中国电子工程设计院世源科技工程有限公司 

出 版 物：《洁净与空调技术》 (Contamination Control & Air-Conditioning Technology)

年 卷 期：2010年第1期

页      码：77-79页

摘      要：结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例,介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程。并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论。

主 题 词：垂直单向流洁净室 风机过滤单元 变频 自控 干式冷盘管 

学科分类：080705[080705] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-3298.2010.01.021

馆 藏 号：203348772...