FP500型超精密锡磨盘平面研抛机的研制

作     者：高宏刚 陈斌 陈琦 GAO Hong-gang;CHEN Bin;CHEN Qi

作者机构：中科院人工晶体研发中心北京100080 中科院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春130022 

出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)

年 卷 期：2000年第26卷第6期

页      码：486-488,493页

摘      要：为减小在超光滑表面制造中对经验的依赖 ,为提高加工精度及重复精度 ,研制了采用锡磨盘的超精密平面研抛机。该机床集超精密车削与超精密研抛于一体 ,可以进行基于多种基本原理的超光滑研抛实验研究。介绍了超精密平面研抛机总体设计方案 ,主要包括机床的结构及精度设计的指导思想、关键部件的结构与驱动系统的方案选择以及机床的外部环境设计。

主 题 词：超精密机床 研磨 超光滑抛光 抛光 研抛机 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1002-1582.2000.06.001

馆 藏 号：203350243...