φ4半导体微型应变芯片设计

作     者：叶碧涛 

作者机构：华南师范大学量电所广州市510631 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：1995年第1期

页      码：29-31,40页

摘      要：本文介绍半导体微型应变芯片的设计依据,对φ4芯片进行设计计算,提出实现的工艺途径。

主 题 词：微型应变芯片 设计 半导体芯片 芯片 压力传感器 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203350770...