低压低功耗CMOS微电容式传感器数字型接口电路研究

作     者：王阳 陈军宁 胡江 张巧文 WANG Yang;CHEN Junning;HU Jiang;ZHANG Qiaowen

作者机构：浙江万里学院电子信息学院浙江宁波315100 安徽大学电子科学与技术学院合肥230039 

基　　金：宁波市自然基金项目(2013A610010 2013A610008) 浙江省自然基金项目(LY14F040002) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2015年第28卷第2期

页      码：198-204页

摘      要：针对便携、无线设备的低电压、低功耗需求,基于TSMC 0.18μm CMOS工艺设计提出一种面向CMOS微电容式传感器的接口转换电路。将敏感电容、参考电容与接口电路集成于同一芯片,可以将对湿度敏感的电容变化量线性转换为方波脉冲信号的宽度,并直接输出数字信号。实验仿真结果显示在1.5V电源供压下电路消耗的功耗仅为1.95mW,转换分辨率达到4.38μs/pF,与同类接口电路相比具有线性度好、有效减少电容间失配和对温度与工艺角变化不敏感等优点。

主 题 词：微电容式传感器 接口电路 脉冲宽度 低压低功耗 相对湿度 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2015.02.009

馆 藏 号：203351179...