MSM光探测器直流特性的二维分析

作     者：于弋川 何建军 何赛灵 邹勇卓 Yu Yichuan;He Jianjun;He Sailing;Zou Yongzhuo

作者机构：浙江大学光及电磁波研究中心现代光学仪器国家重点实验室杭州310027 Lightip TechnologiesInc.OttawaONK1K4R8Canada 

基　　金：浙江省自然科学基金资助项目(批准号:20044131095) 

出 版 物：《Journal of Semiconductors》 (半导体学报（英文版）)

年 卷 期：2005年第26卷第4期

页      码：798-804页

摘      要：基于有限差分方法对金属半导体金属(MSM)光探测器进行了二维分析,得到有明确物理意义的模拟曲线和结论,并结合模拟结果对MSM光探测器的光电直流特性进行了分析.全部模拟工作都是基于半导体物理的基本微分方程完成的,这对于未来优化设计探测器的性能和结构有很大的意义.

主 题 词：MSM光探测器 有限差分 二维分析 直流 硅材料 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-4926.2005.04.033

馆 藏 号：203355442...