单晶炉真空炉室的设计

作     者：李留臣 LI Liu-Cheng

作者机构：西安理工大学晶体生长设备研究所陕西西安710048 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2000年第29卷第4期

页      码：39-41页

摘      要：真空炉室是单晶炉的主要部件之一 ,硅单晶的生长工艺过程都是在真空炉室内进行的。着重介绍单晶炉真空炉室的结构设计及其制造工艺。

主 题 词：单晶炉 真空炉室 半导体材料 冶炼 硅单晶 

学科分类：080603[080603] 08[工学] 0806[工学-电气类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2000.04.008

馆 藏 号：203355662...