MEMS和导航级MEMS惯性传感器

作     者：王忆锋 

作者机构：昆明物理研究所 

出 版 物：《飞航导弹》 (AERODYNAMIC MISSILE JOURNAL)

年 卷 期：2008年第8期

页      码：51-54页

摘      要：介绍了MEMS技术的原理及其设计与制造技术,重点介绍了导航级MEMS惯性传感器的发展和应用现状,最后阐明自主研发是我国导航级MEMS惯性传感器发展的唯一道路。

主 题 词：MEMS 加速度计 陀螺 惯性传感器 惯性测量装置 惯性导航系统 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0804[工学-材料学] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.16338/j.issn.1009-1319.2008.08.024

馆 藏 号：203355806...