用于分数傅里叶域滤波位相元件设计新算法

作     者：刘建莉 高峰 杜惊雷 罗铂靓 段茜 LIU Jian-li;GAO Feng;DU Jing-lei;LUO Bo-liang;DUAN Xi

作者机构：四川大学物理科学与技术学院四川成都610064 

基　　金：国家自然科学基金(60376021) 微细加工光学技术国家重点实验室基金资助 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2005年第32卷第3期

页      码：54-57页

摘      要：基于部分相干成像和分数傅里叶变换理论,建立成像系统的分数傅里叶域滤波模型,提出了可快速设计分数域位相型滤波片的 FrPI 算法。此算法将逆向设计预设初位相与分数傅里叶迭代技术相结合,针对成像系统中不同的设计要求可快速设计出所需的分数域滤波片结构。模拟结果表明,对数值孔径有限的部分相干成像系统,使用新算法设计的分数域滤波片,可有效补偿由于高频损失带来的图像失真,从而使局部线宽偏差和面积偏差分别由滤波前的 36.548nm 和 39.09%下降到了 15.234nm 和 7.72%,明显减少了空间像畸变。

主 题 词：相干成像系统 分数傅里叶域滤波片 FrPI 光刻 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501X.2005.03.015

馆 藏 号：203355893...