栅结构微陀螺大角速度信号输入下分辨率的研究

作     者：付盛荣 熊斌 车录锋 王跃林 

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 

基　　金：国家基础研究973微光机电系统研究(No.G1999033101) 

出 版 物：《功能材料与器件学报》 (Journal of Functional Materials and Devices)

年 卷 期：2003年第9卷第4期

页      码：423-428页

摘      要：主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响。在0.01-200°/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01°/s的输入角速度变化。考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10°/s时,整个系统即无法分辨0.01°/s的输入角速度变化。针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题。

主 题 词：栅结构 微陀螺 分辨率 大角速度信号输入 惯性传感器件 

学科分类：08[工学] 080202[080202] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.012

馆 藏 号：203355976...