140GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性（英文）

作     者：谢辅强 丁桂甫 赵小林 程萍 Xie Fuqiang;Ding Guifu;Zhao Xiaolin;Cheng Ping

作者机构：上海交通大学电子信息与电气工程学院上海200240 

基　　金：supported by the Hi-Tech Research and Development Program of China(2015AA041901) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2015年第27卷第8期

页      码：142-148页

摘      要：对140GHz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦。波导的耦合阻抗在140GHz时为5Ω左右。CST粒子工作室注波互作用的仿真结果表明该弯折波导在140GHz处的功率增益为24.6dB。该弯折波导带状电子注的设计保证了该波导的加工工艺与MEMS微加工工艺兼容。通过SU-8UV-LIGA工艺实现了对该波导的微型加工。测试结果表明该波导的反射损耗S11与插入损耗S21分别为-28dB和-1.2dB。实测的输出功率增益达到23dB。测试结果和仿真结果的一致性表明该弯折波导设计的合理性,同时也验证了多步SU-8UV-LIGA工艺可以实现对该波导的高精度加工。

主 题 词：弯折波导 仿真 微加工 测试 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11884/hplpb201327.083101

馆 藏 号：203357014...