应用于流动控制的MEMS传感器和执行器

作     者：欧毅 白宏磊 石莎莉 焦斌斌 李超波 黄钦文 董立军 景玉鹏 陈大鹏 叶甜春 申功 OU Yi;BAI Hong-lei;SHI Sha-li;JIAO Bin-bin;LI Chao-bo;HUANG Qin-wen;DONG Li-jun;JING Yu-peng;CHEN Da-peng;YE Tian-chun;SHEN Gong

作者机构：中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室北京100029 北京航空航天大学流体力学研究所北京100083 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(批准号:60576053) 国家"863"计划资助项目(批准号:2005AA404210) 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2006年第35卷第1期

页      码：25-27,62页

摘      要：出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 剪切应力传感器 射流执行器 流体 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.004

馆 藏 号：203362724...