功率高压稳流源的设计应用

作     者：闵子建 刘兆龙 郑鹉 MIN Zi-jian;LIU Zhao-long;ZHENG Wu

作者机构：首都师范大学北京100037 北京理工大学北京100081 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50071038) 北京市科委项目(Y0404013000011)~~ 

出 版 物：《电力电子技术》 (Power Electronics)

年 卷 期：2006年第40卷第3期

页      码：99-101页

摘      要：介绍一种高压电流可调大功率稳流电路的设计方法,电路选用VMOS管作为功率器件,可实现工作电压800V以上或电流达数十安培的稳流电源,使用上限由VMOS管的最大额定值决定。电路简单可靠,可直接串联在直流供电回路中使用。该电路应用于溅射镀膜机上,可较精确地控制多层合金膜镀层。

主 题 词：稳流电源 溅射 镀膜/功率金属氧化物场效应晶体管 

学科分类：080903[080903] 0810[工学-土木类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 081001[081001] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-100X.2006.03.037

馆 藏 号：203362833...