基于遗传算法的真空磁控溅射射频阻抗匹配仿真研究

作     者：汪洪波 黄稳 陈长琦 Wang Hongbo;Huang Wen;Chen Changqi

作者机构：合肥工业大学机械与汽车工程学院合肥230009 

基　　金：合肥工业大学科学研究发展基金资助项目(2009HGXJ0087) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2011年第31卷第4期

页      码：500-504页

摘      要：针对真空磁控溅射射频电源阻抗匹配问题,设计射频L型阻抗匹配网络结构。在负载阻抗不同速率变化时,基于遗传算法优化反射系数指标,通过调节匹配网络中两个电容值以达到与射频源的阻抗匹配。大量仿真结果表明,遗传算法的阻抗匹配过程,反射系数能够很快地被调节到最佳值;即使负载阻抗产生较大突变,匹配网络亦能使反射系数快速恢复到最佳匹配点。匹配过程速度快、在最佳匹配点处反射系数波动小、匹配系统精度高。

主 题 词：射频 阻抗匹配 遗传算法 仿真 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 081102[081102] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2011.04.23

馆 藏 号：203364765...