缩短RFMEMS开关释放时间的上悬梁方法

作     者：邓成 鲍景富 凌源 杜亦佳 赵兴海 郑英彬 Deng Cheng;Bao Jingfu;Ling Yuan;Du Yijia;Zhao Xinghai;Zheng Yingbin

作者机构：电子科技大学电子工程学院成都611731 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 

基　　金：国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11176006) 国家部委基金项目(9140A23070311DZ0210) 中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2008A0403016) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2011年第48卷第11期

页      码：714-719,732页

摘      要：针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了在开关梁上设计一个上悬梁的方法,以增大开关梁所受压膜阻尼,抑制开关梁在平衡位置附近的振动,从而缩短RF MEMS开关的释放时间。给出了这种方法的相关理论、等效模型及仿真结果。通过ANSYS仿真雷声梁在设置上悬梁前后的动态特性:对于4μm高的梁,释放时间由设置上悬梁前的103μs(0.5μm厚),176μs(0.8μm厚)和232.5μs(1.1μm厚)分别下降为53.3,89和123.4μs;对于3μm高0.5μm厚的梁,释放时间由43.3μs下降为22μs。仿真结果均表明:在标准大气压下,当雷声梁高度为上悬梁高度的一半时,加入上悬梁后雷声梁的释放时间约为原来的1/2,即开关速度约为原来的2倍。

主 题 词：RFMEMS开关 释放时间 开关速度 上悬梁 空气压膜阻尼 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2011.11.006

馆 藏 号：203364872...