微型流量传感器研究

作     者：姚爱琴 马忠亮 马铁华 

作者机构：华北工学院电子工程系 华北工学院化学工程系山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《华北工学院测试技术学报》 (Journal of Test and Measurement Technology)

年 卷 期：2000年第14卷第1期

页      码：25-28页

摘      要：目的　研究微型管道的流量测量技术 .方法　采用热膜技术 ,在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜 ,利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状 ,形成 4个独立的铂电阻 ,并构成一基本的电桥 ,电桥通以一定的电流后产生热量 ,由于液体流动的作用会使 4个铂电阻间产生一定的温差 ,从而导致电桥失衡 ,产生一定的输出电势 .结果　研制出的流量传感器的各项技术指标满足设计要求 .结论　微型流量传感器与传统的传感器相比 ,在性能上有了较大的提高 。

主 题 词：热膜 流量传感器 流量测量 微型管道 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-7449.2000.01.005

馆 藏 号：203365292...