可调支撑力对光学元件面形的影响

作     者：吴志会 王东平 华洋洋 倪明阳 东立剑 Wu Zhihui;Wang Dongping;Hua Yangyang;Ni Mingyang;Dong Lijian

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心吉林长春130033 

基　　金：国家重大专项02专项(2009ZXO2205) 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2015年第52卷第12期

页      码：180-186页

摘      要：可调支撑装置是高精度光学元件的常用支撑结构。分析了可调支撑装置支撑力调节对光学元件面形的影响规律。建立可调支撑装置的力学模型,利用有限元法计算光学元件的变形,并对光学元件面形进行Zernike多项式拟合。不同工况下分析结果表明:均匀支撑时光学元件面形均方根(RMS)最小,可调支撑力变化时,引入的光学元件面形RMS以及主要Zernike多项式系数均与支撑力线性相关,与光学元件的初始支撑状态无关。建立Fringe Zernike系数随任意支撑力变化的敏感度矩阵,采用该矩阵预测随机工况下光学元件支撑力调整后面形,预测调节面形与有限元仿真调节面形基本一致,RMS误差优于0.3%,为可调支撑装置的设计与装调提供理论依据。

主 题 词：光学器件 可调支撑结构 面形 有限元法 Zernike多项式 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/lop52.122201

馆 藏 号：203366900...