提高差拍法布里-珀罗干涉仪测量精度的研究

作     者：孙文科 许婕 殷纯永 李岩 SUN Wen-ke;XU Jie;YIN Chun-yong;LI Yan

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013 

基　　金：国家自然科学基金重大国际(地区)合作研究项目(No.50420130479) 

出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)

年 卷 期：2006年第36卷第4期

页      码：288-291页

摘      要：文章在中国计量科学研究院研制的差拍法布里-珀罗(F-P)干涉仪基础上,提出用密封干涉光路的真空系统方法,来消除空气折射率变化对测量结果的影响。研究了空气折射率变化对测量精度的影响关系,给出真空系统所需的真空度的估计式。并设计制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统。

主 题 词：纳米测量 法布里-珀罗腔 拍频干涉法 空气折射率 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5078.2006.04.014

馆 藏 号：203371734...