炉室上升式BS法单晶炉的设计

作     者：高利强 王建春 楚波 GAO Li-qiang;WANG Jian-chun;CHU Bo

作者机构：西安理工大学西安710048 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2005年第6期

页      码：4-5页

摘      要：这里介绍了炉室上升式BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。

主 题 词：单晶炉 结构 BS法 炉室上升 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2005.06.002

馆 藏 号：203371887...