基于模态叠加法的静电微泵吸合现象

作     者：应济 李俊 林谢昭 徐亮 Ying Ji;Li Jun;Lin Xiezhao;Xu Liang

作者机构：浙江大学机械工程学系杭州310027 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50475104) 浙江省自然科学基金重点资助项目(Z106519) 

出 版 物：《农业机械学报》 (Transactions of the Chinese Society for Agricultural Machinery)

年 卷 期：2010年第41卷第5期

页      码：198-203页

摘      要：利用数值计算和模态叠加法建立了静电致动泵膜的降阶模型,使复杂的吸合过程求解简单化。通过与已有文献中的结果和三维有限元计算值的比较,表明降阶模型能减少求解时间并且具有很高的精度。利用降阶模型参数化研究了残余应力、泵膜厚度、泵膜半径、极板初始间隙对泵膜吸合电压和吸合位置的影响,得到了泵膜设计的准则,为静电微泵的优化设计提供理论基础。

主 题 词：微泵 吸合 静电 模态叠加 降阶模型 

学科分类：0710[理学-生物科学类] 080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-1298.2010.05.040

馆 藏 号：203372360...