大口径连续相位板面形检测与评价

作     者：温圣林 石琦凯 颜浩 张远航 杨春林 王健 Wen Shenglin;Shi Qikai;Yan Hao;Zhang Yuanhang;Yang Chunlin;Wang Jian

作者机构：成都精密光学工程研究中心成都610041 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2012年第24卷第10期

页      码：2296-2300页

摘      要：基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形。采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验。理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm。实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求。从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性。

主 题 词：光学设计与制造 连续相位板 子孔径拼接检测 面形残差 惯性约束聚变 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/hplpb20122410.2296

馆 藏 号：203372426...