多金属层诱导透射紫外“日盲”探测成像滤光片设计与低温制备研究

作     者：尚鹏 熊津平 季一勤 刘华松 刘丹丹 庄克文 刘旭 沈伟东 Shang Peng;Xiong Jinping;Ji Yiqin;Liu Huasong;Liu Dandan;Zhuang Kewen;Liu Xu;Shen Weidong

作者机构：天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室天津300308 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 成都七中高新校区四川成都610209 

基　　金：国家自然科学基金(61405145 61235011) 天津市自然科学基金(17JCQNJC1900) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2018年第47卷第9期

页      码：174-180页

摘      要：基于SiO_2/Al/SiO_2三层夹层结构,结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数,并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化;在此基础上采用导纳匹配法,理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤光膜,并系统分析了Al和SiO_2介质匹配层制备误差对紫外滤光膜光谱性能的影响;进一步采用低温、高真空Al、SiO_2薄膜生长工艺,成功获得了峰值波长位于218 nm附近,峰值透过率~23.1%,带宽~32 nm,在280 nm、318 nm波段的透过率分别约为0.5%和0.04%,400~700 nm、800~1 100 nm波段的截止度分别可达~5.0 OD、~4.5 OD的高性能三腔诱导透射紫外滤光片样品。相关研究结果对于高性能多腔诱导透射"日盲"紫外滤光片的设计与制备具有很好的指导意义。

主 题 词：光学薄膜 电子束蒸发 紫外诱导透射 Al/SiO2 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/IRLA201847.0920002

馆 藏 号：203373061...