利用KFM研究浮栅结构存储特性的实验设计

作     者：许杰 刘小花 徐骏 Xu Jie;Liu Xiaohua;Xu Jun

作者机构：南京邮电大学电子与光学工程学院江苏南京210023 南京大学电子科学与工程学院江苏南京210093 

基　　金：江苏省自然科学基金项目(BK20160909) 江苏省教育科学"十三五"规划青年专项重点课题(2016-ZX0111-00578) 南京邮电大学科研启动基金项目(NY215039) 

出 版 物：《实验技术与管理》 (Experimental Technology and Management)

年 卷 期：2018年第35卷第9期

页      码：64-66,74页

摘      要：浮栅存储器是一种重要的微电子器件,已得到了广泛的应用。为了使学生在微观尺度下观察和研究浮栅存储结构的存储特性,设计了基于开尔文力显微镜(KFM)的探究性实验。实验内容包括试样准备、KFM测试和结果与讨论等,最后根据KFM测试结果与半导体器件物理知识,定量分析出存储电荷的面密度大小。该实验有助于加深学生对浮栅存储器工作原理的理解,激发学生的学习兴趣,提高学生的研究能力。

主 题 词：浮栅存储器 电荷存储 KFM 探究性实验 

学科分类：08[工学] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.16791/j.cnki.sjg.2018.09.016

馆 藏 号：203373464...