基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究

作     者：朱成林 韩晓泉 冯泽斌 胡明庆 ZHU Chenglin;HAN Xiaoquan;FENG Zebin;HU Mingqing

作者机构：中国科学院光电研究院光电工程部北京100094 北京市准分子激光工程技术研究中心北京100094 中国科学院大学材料科学与光电技术学院北京100190 熊猫电子集团有限公司江苏南京210007 

基　　金：国家科技重大专项02专项 2013ZX02202 

出 版 物：《量子电子学报》 (Chinese Journal of Quantum Electronics)

年 卷 期：2018年第35卷第5期

页      码：533-538页

摘      要：针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复合控制器超调量减少41%,调节时间减少51%.所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境。

主 题 词：激光技术 温度控制 Smith预估补偿 准分子激光器 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 0803[工学-仪器类] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-5461.2018.05.004

馆 藏 号：203375845...