确定BAW梯形滤波器阶数的方法

作     者：高杨 贾乐 韩超 GAO Yang;JIA Le;HAN Chao

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室北京100049 西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61574131) 中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001) 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金资助项目(2016KF-02) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2018年第40卷第5期

页      码：641-645页

摘      要：为确定体声波(BAW)梯形滤波器的阶数,使用仿真法研究了滤波器的带外抑制与并、串联薄膜体声波谐振器(FBAR)的电容比Cps和滤波器阶数N的关系。基于FBAR的Mason解析电路模型构建了1~6阶BAW梯形滤波器,Cps取值为1~6,对1~6阶BAW梯形滤波器进行仿真,取滤波器的左带外抑制进行统计并绘制曲线图。此外,BAW梯形滤波器的阶数可包括半阶数,用同样仿真法改变阶数(N=1.5,…,5.5)对滤波器进行仿真。仿真结果表明,当Cps一定时,带外抑制基本随滤波器的阶数等量增加。当滤波器的阶数一定时,带外抑制随Cps的增加而增加。在优化设计时,并、串联FBAR谐振器区面积比(即Cps)一般设置为1~4,在此范围内滤波器阶数每增加一阶,带外抑制平均增加约10dB;滤波器的阶数增加半阶时,带外抑制约增加整阶数的一半,即5dB,而此时通带内的插损基本保持不变。故设计滤波器时,根据设计指标中的带外抑制可初步确定滤波器的阶数。

主 题 词：滤波器 体声波 阶梯型 阶数 带外抑制 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080902[080902] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2018.05.001

馆 藏 号：203376276...